碳化硅 设备
产业加速扩张之下，碳化硅设备成入局“香饽饽”_腾讯新闻
设备端受掣肘 由于碳化硅具有宽禁带宽度、高击穿电场、高热导率、高电子饱和速率及更高的抗辐射能力等优点，是高温、高压、大功率应用场合下极为理想的半导体材料，被广
进一步探索碳化硅（SiC）设备和工艺情况跟踪 ！ 投资不易，同志碳化硅衬底设备行业深度报告：新能源需求兴起根据热度为您推荐•反馈
碳化硅（SiC）设备和工艺情况跟踪 ！ 投资不易，同志仍需
2022年1月4日 碳化硅在新能源汽车上的使用分为驱和后驱。 如果都使用碳化硅器件，一片 6 寸片子可以供应两台车;如果只是驱或者后驱一片6寸片子可以供应4辆车。 碳化硅
进一步探索碳化硅（SiC）产业研究-由入门到放弃（一） 雪球哈勃投的第四家碳化硅企业，为什么选择做SiC外延的根据热度为您推荐•反馈
万众瞩目的第三代半导体材料，碳化硅产业风潮正盛 行业
2023年5月18日 正如上文提到的，基于碳化硅材料的半导体器件可应用于汽车、充电设备、便携式电源、通信设备、机械臂、飞行器等多个工业领域。 而具体到汽车应用领域，碳
首片国产 6 英寸碳化硅晶圆发布，有哪些工艺设备？有多难做
2020年10月21日 以碳化硅MOSFET工艺为例，整线关键工艺设备共22种。 1.碳化硅晶体生长及加工关键设备 主要包括: 碳化硅粉料合成设备 用于制备生长碳化硅单晶所需的碳化
碳化硅衬底设备行业深度报告：新能源需求兴起，国产替代有
2022年3月2日 碳化硅功率器件具有高电压、大电流、高温、高频率、低损耗等独特优势，将极大 提高现有使用硅基功率器件的能源转换效率，未来将主要应用领域有电动汽车/
技术|碳化硅产业链条核心：外延技术 知乎
2020年12月2日 碳化硅外延材料的主要设备，目这个市场上主要有四家： 1、德国的Aixtron：特点是产能比较大； 2、意大利的LPE，属于单片机，生长速率非常大。 3、日
碳化硅衬底设备行业深度报告：新能源需求兴起，国产替代有
2022年3月22日 碳化硅功率器件具有高电压、大电流、高温、高频率、低损耗等独特优势，将极大 提高现有使用硅基功率器件的能源转换效率，未来将主要应用领域有电动汽车/
三分钟了解第三代半导体材料：碳化硅（SiC） 知乎
2019年7月25日 1、半导体照明领域 采用碳化硅作为衬底的LED期间亮度更高、能耗更低寿命更长、单位芯片面积更小，在大功率LED方面具有非常大的优势。 2、各类电机系统 在5千伏以上的高压应用领域，半导体碳化硅功
CASICON 2023长沙站：聚焦碳化硅关键装备、工艺及配套
2023年5月7日 《半导体设备用SiC部件材料开发及应用》 刘国敬 北京中电科电子装备有限公司副总经理 《碳化硅材料及器件减薄工艺解决方案》 雷浩东 布鲁克（北京）科技有限
英罗唯森：开启碳化硅设备先河_澎湃号媒体_澎湃新闻-The
2021年1月15日 无锡英罗唯森科技有限公司是国内领先的碳化硅设备制造商，为化工、医药农药、新能源领域等有耐腐蚀设备需求用户提供技术、解决方案、售后服务以及创新产品，满足其防腐蚀要求。 同时该公司还是碳化硅换热器国家行业标准的起草领导企业，也是国内唯一具有碳化硅换热器设计制造ISO9001国际质量认证的企业。 厂区鸟瞰图 设备开发 立足
为什么碳化硅要用外延，而不是直接切一片厚的晶圆？ 知乎
2023年1月3日 碳化硅外延材料的主要设备，目这个市场上主要有以下几家： 1、德国的Aixtron：特点是产能比较大； 2、意大利的LPE，属于单片机，生长速率非常大。 3、日本的TEL和Nuflare，其设备的价格非常昂贵，其次是双腔体，对提高产量有一定的作用。 其中，Nuflare是最近几年推出来的一个非常有特点的设备，其能高速旋转，可以达到一分
小议碳化硅的国产化 知乎
2020年10月19日 因此，碳化硅等第三代半导体，在半导体照明光电器件、电力电子、射频微波器件、激光器和探测器件、太阳能电池和生物传感器等其他器件等方面展现出巨大的潜力。 在军用方面，SiC主要用于大功率高频功率器件。 碳化硅半导体的生产步骤包括单晶生长、外延层生长以及器件/芯片制造，分别对应衬底、外延和器件/芯片。 后文会围绕这三个
三分钟了解第三代半导体材料：碳化硅（SiC） 知乎
2019年7月25日 1、半导体照明领域 采用碳化硅作为衬底的LED期间亮度更高、能耗更低寿命更长、单位芯片面积更小，在大功率LED方面具有非常大的优势。 2、各类电机系统 在5千伏以上的高压应用领域，半导体碳化硅功
碳化硅外延设备_产品与技术_纳设智能官方网站 Naso Tech
碳化硅化学气相沉积外延设备 碳化硅外延设备属半导体设备领域，占据第三代半导体产业链上游关键环节。 我司碳化硅外延设备采用自主创新的结构设计，同时兼容6英寸、4英寸外延片生长，是一款工艺指标优异、耗材成本低、维护频率低的中国首台完全自主创新的碳化硅外
国产化率85%！碳化硅自主可控又进一步？- 电子工程专辑
2022年4月15日 碳化硅自主可控又进一步？. 几，“三代半风向”曾介绍了碳化硅热场材料国产化情况（.点这里.）；与此同时，碳化硅外延设备的国产化进程也在加快。. 昨，季华实验室也传来利好消息，他们的碳化硅外延设备国产化率高达85%。. 此外，北方华创和纳设
碳化硅：第三半导体核心材料，产业链龙头全梳理|半导体材料
2022年5月10日 基于碳化硅材料的半导体器件可应用于汽车、充电设备、便携式电源、通信设备、机械臂、飞行器等多个工业领域。 碳化硅材料的特性决定了它将会逐步取代传统硅基，打开巨大的市场空间。 根据Yole数据，受新能源汽车行业庞大的需求驱动，以及光伏风电和充电桩等领域对于效率和功耗要求提升的影响，预计到2027年碳化硅功率器件的市场
CASICON 2023长沙站：聚焦碳化硅关键装备、工艺及配套
2023年5月7日 《半导体设备用SiC部件材料开发及应用》 刘国敬 北京中电科电子装备有限公司副总经理 《碳化硅材料及器件减薄工艺解决方案》 雷浩东 布鲁克（北京）科技有限公司应用工程师 《碳化硅同质外延层厚度无损红外反射光谱法测试分析》
科友半导体6/8英寸碳化硅规模化生产取得重大技术突破-全球
2023年5月15日 科友半导体在哈尔滨新区打造产、学、研一体化的第三代半导体产学研聚集区，实现碳化硅材料端从原材料提纯-装备制造-晶体生长-衬底加工-外延晶圆的材料端全产业链闭合，致力成为第三代半导体关键材料和高端装备主要供应商。. 1、「DRAMeXchange-全
江苏星特亮科技有限公司（官方网站）延安星特亮科创有限
延安星特亮科创有限公司致力于人工晶体生长设备和闪烁晶体材料的研发、生产和销售；主要产品有碳化硅单晶炉、碳化硅籽晶粘接炉、碳化硅单晶热处理炉、下降炉、直拉单晶炉等；闪烁晶体材料主要产品有1"—8"、1L—4L碘化钠（铊）系列晶体、溴化镧晶体、碘化铯晶体和探测器；公司现有核心成员16人，包括5名博士3名硕士，拥有一支经验丰富的设备研发设
万众瞩目的第三代半导体材料，碳化硅产业风潮正盛 行业
2023年5月18日 正如上文提到的，基于碳化硅材料的半导体器件可应用于汽车、充电设备、便携式电源、通信设备、机械臂、飞行器等多个工业领域。 而具体到汽车应用领域，碳化硅应用于新能源车，可以降低损耗、减小模块体积重量、提升续航能力。
英罗唯森：开启碳化硅设备先河_澎湃号媒体_澎湃新闻-The
2021年1月15日 无锡英罗唯森科技有限公司是国内领先的碳化硅设备制造商，为化工、医药农药、新能源领域等有耐腐蚀设备需求用户提供技术、解决方案、售后服务以及创新产品，满足其防腐蚀要求。 同时该公司还是碳化硅换热器国家行业标准的起草领导企业，也是国内唯一具有碳化硅换热器设计制造ISO9001国际质量认证的企业。 厂区鸟瞰图 设备开发 立足
国产化率85%！碳化硅自主可控又进一步？- 电子工程专辑
2022年4月15日 据介绍，姑苏实验室“第三代半导体碳化硅外延设备”项目由姑苏实验室与芯三代半导体科技（苏州）有限公司携手承担，于2020年底立项，项目总投资1.128亿元。 插播：更多全球SiC产业布局，尽在《2021第三代半导体调研白皮书》，扫码可抢先阅读！ 其他人都在看： 又一车企采用SiC？ 5月上市 1内2家SiC企业申请上市 SiC继续扩产！ 三安
碳化硅：第三半导体核心材料，产业链龙头全梳理|半导体材料
2022年5月10日 基于碳化硅材料的半导体器件可应用于汽车、充电设备、便携式电源、通信设备、机械臂、飞行器等多个工业领域。 碳化硅材料的特性决定了它将会逐步取代传统硅基，打开巨大的市场空间。 根据Yole数据，受新能源汽车行业庞大的需求驱动，以及光伏风电和充电桩等领域对于效率和功耗要求提升的影响，预计到2027年碳化硅功率器件的市场
产业加速扩张之下，碳化硅设备成入局“香饽饽”|sic|半导体
2022年12月15日 设备端受掣肘 由于碳化硅具有宽禁带宽度、高击穿电场、高热导率、高电子饱和速率及更高的抗辐射能力等优点，是高温、高压、大功率应用场合下极为理想的半导体材料，被广泛应用于新能源汽车、光伏、储能、电网、5G基站、轨道交通、数据中心、白电、消费电子等市场。 据Yole预测，2025年全球碳化硅功率半导体市场规模将达到25.62
碳化硅外延设备_产品与技术_纳设智能官方网站 Naso Tech
碳化硅化学气相沉积外延设备 碳化硅外延设备属半导体设备领域，占据第三代半导体产业链上游关键环节。 我司碳化硅外延设备采用自主创新的结构设计，同时兼容6英寸、4英寸外延片生长，是一款工艺指标优异、耗材成本低、维护频率低的中国首台完全自主创新的碳化硅外
中金 碳化硅材料：乘碳中和之东风，国内厂商奋起直追_新浪
2022年1月13日 碳化硅（SiC）材料是第三代化合物半导体的典型代表，特别是在下游需求快速成长的新能源相关应用中，我们认为SiC相比Si基材料优势明显：1）在新能源车领域，SiC器件有望解决续航里程短、补能时间长等痛点；2）在光伏发电方面，SiC器件有望提升逆变器转换效率及使用寿命。 根据Wolfspeed预测，2026年SiC相关器件市场有望达
中金 碳化硅材料：乘碳中和之东风，国内厂商奋起直追（三
2022年1月13日 晶棒切割： 使用切割设备将碳化硅晶体切割成厚度不超过1mm的薄片。 晶片研磨： 通过配比好的研磨液将晶片研磨到所需的平整度和粗糙度。 晶片抛光： 通过配比好的抛光液对研磨片进行机械抛光和化学抛光，用来消除表面划痕、 降低表面粗糙度及消除加工应力等。 晶片检测： 检测碳化硅晶片的微管密度、结晶质量、表面粗糙度、电阻率、
CASICON 2023长沙站：聚焦碳化硅关键装备、工艺及配套
2023年5月7日 《半导体设备用SiC部件材料开发及应用》 刘国敬 北京中电科电子装备有限公司副总经理 《碳化硅材料及器件减薄工艺解决方案》 雷浩东 布鲁克（北京）科技有限公司应用工程师 《碳化硅同质外延层厚度无损红外反射光谱法测试分析》
科友半导体6/8英寸碳化硅规模化生产取得重大技术突破-全球
2023年5月15日 科友半导体在哈尔滨新区打造产、学、研一体化的第三代半导体产学研聚集区，实现碳化硅材料端从原材料提纯-装备制造-晶体生长-衬底加工-外延晶圆的材料端全产业链闭合，致力成为第三代半导体关键材料和高端装备主要供应商。. 1、「DRAMeXchange-全
碳化硅（SiC）设备和工艺情况跟踪 ！ 投资不易，同志仍需
2022年1月4日 碳化硅在新能源汽车上的使用分为驱和后驱。 如果都使用碳化硅器件，一片 6 寸片子可以供应两台车;如果只是驱或者后驱一片6寸片子可以供应4辆车。 碳化硅
万众瞩目的第三代半导体材料，碳化硅产业风潮正盛 行业
2023年5月18日 正如上文提到的，基于碳化硅材料的半导体器件可应用于汽车、充电设备、便携式电源、通信设备、机械臂、飞行器等多个工业领域。 而具体到汽车应用领域，碳
首片国产 6 英寸碳化硅晶圆发布，有哪些工艺设备？有多难做
2020年10月21日 以碳化硅MOSFET工艺为例，整线关键工艺设备共22种。 1.碳化硅晶体生长及加工关键设备 主要包括: 碳化硅粉料合成设备 用于制备生长碳化硅单晶所需的碳化
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2022年3月2日 碳化硅功率器件具有高电压、大电流、高温、高频率、低损耗等独特优势，将极大 提高现有使用硅基功率器件的能源转换效率，未来将主要应用领域有电动汽车/
技术|碳化硅产业链条核心：外延技术 知乎
2020年12月2日 碳化硅外延材料的主要设备，目这个市场上主要有四家： 1、德国的Aixtron：特点是产能比较大； 2、意大利的LPE，属于单片机，生长速率非常大。 3、日
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2022年3月22日 碳化硅功率器件具有高电压、大电流、高温、高频率、低损耗等独特优势，将极大 提高现有使用硅基功率器件的能源转换效率，未来将主要应用领域有电动汽车/
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2019年7月25日 1、半导体照明领域 采用碳化硅作为衬底的LED期间亮度更高、能耗更低寿命更长、单位芯片面积更小，在大功率LED方面具有非常大的优势。 2、各类电机系统 在5千伏以上的高压应用领域，半导体碳化硅功
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2023年5月7日 《半导体设备用SiC部件材料开发及应用》 刘国敬 北京中电科电子装备有限公司副总经理 《碳化硅材料及器件减薄工艺解决方案》 雷浩东 布鲁克（北京）科技有限
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2021年1月15日 无锡英罗唯森科技有限公司是国内领先的碳化硅设备制造商，为化工、医药农药、新能源领域等有耐腐蚀设备需求用户提供技术、解决方案、售后服务以及创新产品，满足其防腐蚀要求。 同时该公司还是碳化硅换热器国家行业标准的起草领导企业，也是国内唯一具有碳化硅换热器设计制造ISO9001国际质量认证的企业。 厂区鸟瞰图 设备开发 立足
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2023年1月3日 碳化硅外延材料的主要设备，目这个市场上主要有以下几家： 1、德国的Aixtron：特点是产能比较大； 2、意大利的LPE，属于单片机，生长速率非常大。 3、日本的TEL和Nuflare，其设备的价格非常昂贵，其次是双腔体，对提高产量有一定的作用。 其中，Nuflare是最近几年推出来的一个非常有特点的设备，其能高速旋转，可以达到一分
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2020年10月19日 因此，碳化硅等第三代半导体，在半导体照明光电器件、电力电子、射频微波器件、激光器和探测器件、太阳能电池和生物传感器等其他器件等方面展现出巨大的潜力。 在军用方面，SiC主要用于大功率高频功率器件。 碳化硅半导体的生产步骤包括单晶生长、外延层生长以及器件/芯片制造，分别对应衬底、外延和器件/芯片。 后文会围绕这三个
三分钟了解第三代半导体材料：碳化硅（SiC） 知乎
2019年7月25日 1、半导体照明领域 采用碳化硅作为衬底的LED期间亮度更高、能耗更低寿命更长、单位芯片面积更小，在大功率LED方面具有非常大的优势。 2、各类电机系统 在5千伏以上的高压应用领域，半导体碳化硅功
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碳化硅化学气相沉积外延设备 碳化硅外延设备属半导体设备领域，占据第三代半导体产业链上游关键环节。 我司碳化硅外延设备采用自主创新的结构设计，同时兼容6英寸、4英寸外延片生长，是一款工艺指标优异、耗材成本低、维护频率低的中国首台完全自主创新的碳化硅外
国产化率85%！碳化硅自主可控又进一步？- 电子工程专辑
2022年4月15日 碳化硅自主可控又进一步？. 几，“三代半风向”曾介绍了碳化硅热场材料国产化情况（.点这里.）；与此同时，碳化硅外延设备的国产化进程也在加快。. 昨，季华实验室也传来利好消息，他们的碳化硅外延设备国产化率高达85%。. 此外，北方华创和纳设
碳化硅：第三半导体核心材料，产业链龙头全梳理|半导体材料
2022年5月10日 基于碳化硅材料的半导体器件可应用于汽车、充电设备、便携式电源、通信设备、机械臂、飞行器等多个工业领域。 碳化硅材料的特性决定了它将会逐步取代传统硅基，打开巨大的市场空间。 根据Yole数据，受新能源汽车行业庞大的需求驱动，以及光伏风电和充电桩等领域对于效率和功耗要求提升的影响，预计到2027年碳化硅功率器件的市场
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2023年5月7日 《半导体设备用SiC部件材料开发及应用》 刘国敬 北京中电科电子装备有限公司副总经理 《碳化硅材料及器件减薄工艺解决方案》 雷浩东 布鲁克（北京）科技有限公司应用工程师 《碳化硅同质外延层厚度无损红外反射光谱法测试分析》
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2023年5月15日 科友半导体在哈尔滨新区打造产、学、研一体化的第三代半导体产学研聚集区，实现碳化硅材料端从原材料提纯-装备制造-晶体生长-衬底加工-外延晶圆的材料端全产业链闭合，致力成为第三代半导体关键材料和高端装备主要供应商。. 1、「DRAMeXchange-全
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延安星特亮科创有限公司致力于人工晶体生长设备和闪烁晶体材料的研发、生产和销售；主要产品有碳化硅单晶炉、碳化硅籽晶粘接炉、碳化硅单晶热处理炉、下降炉、直拉单晶炉等；闪烁晶体材料主要产品有1"—8"、1L—4L碘化钠（铊）系列晶体、溴化镧晶体、碘化铯晶体和探测器；公司现有核心成员16人，包括5名博士3名硕士，拥有一支经验丰富的设备研发设
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2023年5月18日 正如上文提到的，基于碳化硅材料的半导体器件可应用于汽车、充电设备、便携式电源、通信设备、机械臂、飞行器等多个工业领域。 而具体到汽车应用领域，碳化硅应用于新能源车，可以降低损耗、减小模块体积重量、提升续航能力。
英罗唯森：开启碳化硅设备先河_澎湃号媒体_澎湃新闻-The
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产业加速扩张之下，碳化硅设备成入局“香饽饽”|sic|半导体
2022年12月15日 设备端受掣肘 由于碳化硅具有宽禁带宽度、高击穿电场、高热导率、高电子饱和速率及更高的抗辐射能力等优点，是高温、高压、大功率应用场合下极为理想的半导体材料，被广泛应用于新能源汽车、光伏、储能、电网、5G基站、轨道交通、数据中心、白电、消费电子等市场。 据Yole预测，2025年全球碳化硅功率半导体市场规模将达到25.62
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中金 碳化硅材料：乘碳中和之东风，国内厂商奋起直追_新浪
2022年1月13日 碳化硅（SiC）材料是第三代化合物半导体的典型代表，特别是在下游需求快速成长的新能源相关应用中，我们认为SiC相比Si基材料优势明显：1）在新能源车领域，SiC器件有望解决续航里程短、补能时间长等痛点；2）在光伏发电方面，SiC器件有望提升逆变器转换效率及使用寿命。 根据Wolfspeed预测，2026年SiC相关器件市场有望达
中金 碳化硅材料：乘碳中和之东风，国内厂商奋起直追（三
2022年1月13日 晶棒切割： 使用切割设备将碳化硅晶体切割成厚度不超过1mm的薄片。 晶片研磨： 通过配比好的研磨液将晶片研磨到所需的平整度和粗糙度。 晶片抛光： 通过配比好的抛光液对研磨片进行机械抛光和化学抛光，用来消除表面划痕、 降低表面粗糙度及消除加工应力等。 晶片检测： 检测碳化硅晶片的微管密度、结晶质量、表面粗糙度、电阻率、
CASICON 2023长沙站：聚焦碳化硅关键装备、工艺及配套
2023年5月7日 《半导体设备用SiC部件材料开发及应用》 刘国敬 北京中电科电子装备有限公司副总经理 《碳化硅材料及器件减薄工艺解决方案》 雷浩东 布鲁克（北京）科技有限公司应用工程师 《碳化硅同质外延层厚度无损红外反射光谱法测试分析》
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2023年5月15日 科友半导体在哈尔滨新区打造产、学、研一体化的第三代半导体产学研聚集区，实现碳化硅材料端从原材料提纯-装备制造-晶体生长-衬底加工-外延晶圆的材料端全产业链闭合，致力成为第三代半导体关键材料和高端装备主要供应商。. 1、「DRAMeXchange-全